- 磁控濺射鍍膜儀
- 熱蒸發(fā)鍍膜儀
- 高溫熔煉爐
- 等離子鍍膜儀
- 可編程勻膠機
- 涂布機
- 等離子清洗機
- 放電等離子燒結爐
- 靜電紡絲
- 金剛石切割機
- 快速退火爐
- 晶體生長爐
- 真空管式爐
- 旋轉管式爐
- PECVD氣相沉積系統
- 熱解噴涂
- 提拉涂膜機
- 二合一鍍膜儀
- 多弧離子鍍膜儀
- 電子束，激光鍍膜儀
- CVD氣相沉積系統
- 立式管式爐
- 1200管式爐
- 高溫真空爐
- 氧化鋯燒結爐
- 高溫箱式爐
- 箱式氣氛爐
- 高溫高壓爐
- 石墨烯制備
- 區(qū)域提純爐
- 微波燒結爐
- 粉末壓片機
- 真空手套箱
- 真空熱壓機
- 培育鉆石
- 二硫化鉬制備
- 高性能真空泵
- 質量流量計
- 真空法蘭
- 混料機設備
- UV光固機
- 注射泵
- 氣體分析儀
- 電池制備
- 超硬刀具焊接爐
- 環(huán)境模擬試驗設備
- 實驗室產品配件
- 實驗室鍍膜耗材
- 其他產品
高真空電子束蒸發(fā)鍍膜儀技術參數：
|
產品名稱 |
高真空電子束蒸發(fā)鍍膜儀 |
|
|
產品型號 |
CY-EBH500-SS |
|
|
樣品臺 |
外形尺寸 |
<150mm，樣品臺可旋轉 |
|
可調溫度 |
≦500℃ |
|
|
電子槍 |
新型電子槍，6孔坩堝 |
|
|
加熱燈 |
4只鹵素加熱燈用于除氣，1個氖燈用于照明 |
|
|
真空腔體 |
腔體尺寸 |
Φ500*H500mm |
|
觀察窗口 |
直徑φ100mm |
|
|
腔體材質 |
304不銹鋼 |
|
|
開啟方式 |
前開門式 |
|
|
膜厚測量 |
采用SQM160膜厚儀進行監(jiān)控，涂層厚度不均勻度小于6%。 |
|
|
真空系統 |
前級泵 |
雙極旋片泵，氣體抽速1.1L/S |
|
次級泵 |
渦輪分子泵,氣體抽速600L/S |
|
|
真空測量 |
復合真空計(電離規(guī)+電阻規(guī)) |
|
|
系統真空 |
5×10-5Pa |
|
|
水冷系統 |
水壓<2.5bar 水壓監(jiān)測 |
|
|
加熱燈 |
4只鹵素加熱燈用于除氣，1個氖燈用于照明 |
|
|
電極接口 |
帶2路金屬蒸發(fā)電極接口 |
|
|
控制系統 |
CYKY自研專業(yè)級控制器 |
|
|
其他參數 |
供電電源 |
AC380V,50Hz |
|
整機尺寸 |
1000mm×800mm×1500mm |
|
|
整機功率 |
20KW |
|
|
整機重量 |
350kg |
|
