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單溫區旋轉PECVD石墨烯制備
單溫區旋轉PECVD，安裝有真空自動投料器，爐管尾部預留KF40接口可以連接收料罐。投料器采用螺桿進料，可以以額定的速率將粉料送入爐管，投料速率可通過調節轉速來更改。可實現在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用PECVD方法進行包裹和修飾。收料罐可以在氣氛保護環境下對處理好的料粉進行收集。
設備配有100W頻率13.56MHz的視頻電源。能夠在真空中產生等離子體。高能等離子體能夠活化樣品表面，有效的增強反應效果，提高反應速率，這種輔助方法廣泛用于石墨烯制備，顆粒包覆等科學實驗上。
本設備特別適合顆粒型樣品實驗，通過機械傳動能夠控制工作管360°不間斷連續旋轉，轉速可調，使得管內物料不斷的被攪拌混合，充分與氣體和等離子體接觸，使樣品的反應更加均勻穩定。
技術參數：
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射頻電源
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輸出功率 |
150W |
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輸出精度 |
±1% |
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射頻頻率 |
13.56MHz |
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射頻穩定度 |
±0.005% |
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冷卻方式 |
風冷 |
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1200℃單溫區管式爐
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供電電壓 |
AC220V，50Hz |
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*大功率 |
2KW |
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加熱溫區 |
單個溫區200mm |
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工作溫度 |
*高1200℃，連續運行溫度應≤1100℃ |
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控溫精度 |
±1℃ |
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控溫方式 |
AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條 三溫區獨立控制，帶有過熱和斷偶保護 |
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爐管材質 |
高純石英 |
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爐管尺寸 |
φ50x800mm |
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密封方式 |
真空不銹鋼法蘭、KF16法蘭 |
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可調轉速 |
0-20rpm |
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傾斜角度 |
0-15° |
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真空泵 |
旋片機械泵 |
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極限真空度 |
1.0E-1Pa |
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進料方式 |
真空漏斗加螺桿進料 |
