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產品名稱：加熱型勻膠機
產品型號：CY-SPC8-SS
產品廠商：成越科儀
產品文檔：

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簡單介紹：

本加熱型勻膠機主要利用離心涂覆原理將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜，該工藝在材料研究領域有著廣泛的應用。本加熱型勻膠機的工作腔體為聚四氟（塑料王）材質，它是由四氟乙烯經聚合而成的高分子化合物，具有優(yōu)良的化學穩(wěn)定性和極強的耐腐蝕性，已廣泛應用于各種需要抗酸堿和有機溶劑的場合。本加熱型勻膠機內安裝有真空數字傳感器，涂敷過程中可實時檢測系統(tǒng)真空度，控制器必須在合適的真空度下電機才可以正常啟動和運行。這樣可以有效保障：可靠吸片并杜絕飛片事故的發(fā)生。

詳情介紹：

加熱型旋轉涂覆儀采用全鋁合金腔體，美觀堅固。儀器采用先進的精密電機，轉速能達到10000轉/分，有效的保障了成膜的均勻性。除了基本的旋涂功能，本品還配有加熱組件，可以加熱到200℃，由智能溫控表控溫，溫度測定準確，升溫過程完全可控。另外本儀器采用觸控屏控制，可以預設勻膠曲線，大大簡化了使用過程降低了學習成本，十分適合實驗室選購。加熱型旋轉涂覆儀加熱型旋轉涂覆儀可以將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜，主要應用于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領域。

加熱型旋轉涂覆儀技術參數：

	項目	明細
旋涂儀	供電電壓	AC220V，50Hz
	轉速	0~10000rpm
	加速度	100~5000rpm/s
	轉速分辨率	1rpm
	單步時間	3000s
	基片尺寸	直徑≤8英寸（200mm）
	腔體材質	鋁合金
	加熱溫度	≤200℃
	控溫方式	AIP智能控溫
	操作方式	7寸高清LCD觸控屏
	滴膠方式	手動滴膠，可選購精密注射泵
	勻膠曲線	每條曲線5段，共可儲存5條曲線
	抽氣接口	φ6mm 快擰接口
	整機尺寸	290mm×365mm×300mm
	整機重量	12kg
排氣系統(tǒng)	真空泵	干式機械泵
	抽氣速率	50L/min
	供電電源	AC220V 50/60Hz