真空噴霧熱解涂膜機包含一個軟件，用于噴頭移動和分配速率的自動化。 由步進電機控制的正排量泵用于根據需要分配溶液。 噴頭在基板上噴射精細的霧化溶液，其運動由步進電機驅動的線性平臺在X和Y方向控制，以確保均勻涂層。 可以通過改變噴嘴處的壓縮氣體壓力來調節噴霧模式和速度。

       噴霧熱解是通過在加熱的表面上噴射溶液來沉積薄膜的過程，其中組分反應形成化合物。該方法對于氧化物的沉積特別有用，并且長期以來一直是將氧化錫（SnO₂）或氧化錫的透明導電體施加到玻璃基板上的制造方法。現在，這種技術越來越多地用于制備鈣鈦礦薄膜，例如鈣鈦礦太陽能電池。

真空噴霧熱解涂膜機技術參數：

項目	明細
供電電壓	AC220V，50Hz
噴涂室	690mm X 690mm X 790mm
霧化頭	高壓空氣霧化噴頭X 3 每個噴頭均配有高壓氣體驅動擋板，防止滴落
壓力調節器	可調節壓縮空氣進氣
*大功率	3.5KW （含壓縮機+蠕動泵約0.5KW）
液體粘度	1-50mPa·s（cP）
噴頭行程	X-Y軸 *大180mm
移動速度	0-250mm/s （x軸方向）  0-250mm/s（Y軸方向）
加熱襯底基板	200mm X 200mm
*高溫度	500℃
控溫方式	AI-PID 控溫
滴涂罐容量	50mL/250mL/50mL
蠕動泵分液速率	0.006-41mL/min
真空泵	雙極旋片真空泵
真空計	機械式真空計
極限真空度	≤5000Pa
操控方式	工控電腦+儀器面板
整機尺寸	900mm X 900mm X 1750mm

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