卷對(duì)卷式PECVD是一套卷對(duì)卷石墨烯制備管式爐系統(tǒng),設(shè)備由卷對(duì)卷銅箔收放密封裝置、1200°C三溫區(qū)管式爐、 真空機(jī)組3部分組成。此設(shè)備可用于大面積、高質(zhì)量石墨烯及其他二維材料的規(guī)模化生長(zhǎng)。

卷對(duì)卷式PECVD應(yīng)用范圍：

計(jì)算機(jī)和智能手機(jī)屏幕，超輕、柔性的太陽(yáng)能電池，以及新型的發(fā)光設(shè)備和其他薄膜電子產(chǎn)品領(lǐng)域。

卷對(duì)卷PECVD技術(shù)參數(shù)：

性能指標(biāo)和基本配置
產(chǎn)品名稱	卷對(duì)卷式PECVD
產(chǎn)品型號(hào)	CY-OTF-1200X-III-PE300-RR
1000W等離子源	● 輸出功率：50-1000W*大可調(diào)±1% ● RF頻率： 13.56MHz，穩(wěn)定性±0.005% ● 噪聲：≤55DB ● 冷卻：風(fēng)冷 ● 輸入功率：1KW  AC 220V
三路質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)	● 電壓：AC220V/50Hz ● 功率：23W ● PLC觸摸屏控制 ● 混氣罐尺寸：φ80*120mm ● 工作溫度：5~45℃ ● *大壓力: 3x106 Pa ● 精度: ±1.5% FS ● 線性: ±（0.5-1.5）%F.S. ● 重復(fù)精度: ±0.2%F.S. ● 流量范圍: ● 一路: 1~50 SCCM （甲烷標(biāo)定） ● 二路: 1~200 SCCM （氫氣標(biāo)定） ● 三路: 1~200 SCCM （氬氣標(biāo)定） 氣體種類標(biāo)定根據(jù)客戶要求可以進(jìn)行其它選擇
真空測(cè)量單元	● 型號(hào)：PCG-800 ● 顯示范圍：3.8E-5 to 1125 Torr 精度： ● 5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50 ● 1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15 ● 100 … 950 mbar % of reading ±5 ● 950 … 1050 mbar % of reading ±2.5
低真空機(jī)組（標(biāo)配）	● 由雙旋機(jī)械泵、雙層立式油霧過(guò)濾器（PE材質(zhì)）、電阻真空計(jì)以及連接管道接頭等組成 ● 真空泵抽氣速率≥4.4L/s ● 極限真空度10-1Pa ● 真空計(jì)測(cè)量范圍10-1Pa-105 Pa
卷對(duì)卷銅箔收放密封裝置	● 采用卷對(duì)卷收放卷機(jī)構(gòu)進(jìn)行銅箔的移動(dòng)進(jìn)出料，銅箔的移動(dòng)速度為1-400mm/min可調(diào)； ● 配置一卷測(cè)試銅箔 ● 收放卷機(jī)構(gòu)別放置于管式爐兩端真空腔體內(nèi)，保證銅箔可在密封生長(zhǎng)條件下進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)大規(guī)模制備 。 ● 收卷機(jī)構(gòu)與管式爐之間設(shè)置冷卻裝置用于銅箔的快速冷卻。
產(chǎn)品尺寸	大約2400*800*1250mm
產(chǎn)品重量	大約720kg
質(zhì)量認(rèn)證	電器元件可選擇通過(guò)CE認(rèn)證
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。 特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。