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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號:CY-EVS180S-HV
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發(fā)組件,不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜,也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質(zhì)的薄膜。儀器元件高度集成化,在同一個(gè)腔體內(nèi)即實(shí)現(xiàn)了兩種鍍膜功能;本鍍膜儀采用304不銹鋼腔體作真空腔體,鍍膜過程完全可見。儀器標(biāo)配雙極旋片真空泵,能夠快速達(dá)到1.0E-3Pa的真空度,極限真空度1.0E-5Pa,可滿足大多數(shù)蒸發(fā)鍍膜實(shí)驗(yàn)和二極濺射實(shí)驗(yàn)所需的真空環(huán)境。本儀器體積小,節(jié)省空間,能夠置于試驗(yàn)臺上使用,一機(jī)多用,性價(jià)比突出,非常適合各大高校及研究機(jī)構(gòu)選用。
詳情介紹:

離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀適用范圍:

掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作,以及非導(dǎo)體材料試驗(yàn)電極的制作等。


離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

供電電壓

AC220V60Hz

*大功率

1200W

樣品臺

直徑φ65mm;

與蒸發(fā)源間距可調(diào),調(diào)節(jié)范圍60mm-100mm

真空腔體

材質(zhì):304不銹鋼 O.Dφ168mm x I.Dφ160mm x 210mm

*高溫度

1700℃

熱電偶

B型熱電偶

真空計(jì)

電子式真空計(jì)

真空系統(tǒng)

前級泵:浦發(fā)MVP030 無油泵   抽速30L/min

次級泵:萊寶TURBOVAC 90iX   抽速90L/s

真空接口

KF40

進(jìn)氣接口

1/4卡套接頭

整機(jī)尺寸

500x350x400mm





豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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