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產(chǎn)品名稱：UPS三靶磁控濺射鍍膜機(jī)
產(chǎn)品型號(hào)：CY-MSH325-III-RFRFRF-UPS-SS
產(chǎn)品廠商：成越科儀
產(chǎn)品文檔：

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簡(jiǎn)單介紹：

三靶磁控濺射鍍膜機(jī)是我公司自主研發(fā)的高性價(jià)比的磁控濺射鍍膜設(shè)備。它是標(biāo)準(zhǔn)化，模塊化和可定制的。該裝置可用于制備單層或多層鐵電薄膜，導(dǎo)電膜，合金膜，半導(dǎo)體膜，陶瓷膜，介電膜，光學(xué)膜，氧化物膜，硬膜，PTFE膜等。與同類設(shè)備相比，這種三靶磁控濺射鍍膜機(jī)不僅用途廣泛，而且具有體積小，操作簡(jiǎn)便的優(yōu)點(diǎn)，是實(shí)驗(yàn)室制備材料膜的理想設(shè)備。

詳情介紹：

技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目

明細(xì)

產(chǎn)品型號(hào)

CY-MSH325-III-RFRFRF-UPS-SS

供電電壓

AC220V，50Hz

整機(jī)功率

6KW

系統(tǒng)真空

≦5×10^-4Pa

樣品臺(tái)

外形尺寸

φ150mm

加熱溫度

≦700℃

控溫精度

±1℃

可調(diào)轉(zhuǎn)速

≦40rpm

磁控靶槍

靶材尺寸

直徑Φ50.8mm，厚度≦3mm

冷卻模式

循環(huán)水冷

水流大小

不小于10L/Min

真空腔體

腔體尺寸

直徑φ325mm，高度385mm

腔體材質(zhì)

SUU304不銹鋼

觀察窗口

直徑φ100mm

開啟方式

頂開式

氣體控制

1路質(zhì)量流量計(jì)用于控制Ar流量，量程為:200SCCM

真空系統(tǒng)

配分子泵系統(tǒng)1套，氣體抽速600L/S

膜厚測(cè)量

可選配石英晶體膜厚儀，分辨率0.10 ?

濺射電源

配射頻濺射電源,功率500W*3

控制系統(tǒng)

CYKY自研專業(yè)級(jí)控制系統(tǒng)

UPS

20KVA 16KW，延遲1小時(shí)

16節(jié)電池，容量38AH

設(shè)備尺寸

1090mm×900mm×1250mm

設(shè)備重量

350kg

相關(guān)產(chǎn)品

項(xiàng)目		明細(xì)
產(chǎn)品型號(hào)		CY-MSH325-III-RFRFRF-UPS-SS
供電電壓		AC220V，50Hz
整機(jī)功率		6KW
系統(tǒng)真空		≦5×10^-4Pa
樣品臺(tái)	外形尺寸	φ150mm
	加熱溫度	≦700℃
	控溫精度	±1℃
	可調(diào)轉(zhuǎn)速	≦40rpm
磁控靶槍	靶材尺寸	直徑Φ50.8mm，厚度≦3mm
	冷卻模式	循環(huán)水冷
	水流大小	不小于10L/Min
真空腔體	腔體尺寸	直徑φ325mm，高度385mm
	腔體材質(zhì)	SUU304不銹鋼
	觀察窗口	直徑φ100mm
	開啟方式	頂開式
氣體控制		1路質(zhì)量流量計(jì)用于控制Ar流量，量程為:200SCCM
真空系統(tǒng)		配分子泵系統(tǒng)1套，氣體抽速600L/S
膜厚測(cè)量		可選配石英晶體膜厚儀，分辨率0.10 ?
濺射電源		配射頻濺射電源,功率500W*3
控制系統(tǒng)		CYKY自研專業(yè)級(jí)控制系統(tǒng)
UPS		20KVA 16KW，延遲1小時(shí) 16節(jié)電池，容量38AH
設(shè)備尺寸		1090mm×900mm×1250mm
設(shè)備重量		350kg

產(chǎn)品名稱：UPS三靶磁控濺射鍍膜機(jī)